精工愛普生和Santee公司現(xiàn)已使用MEMS技術，面向光通信領域開發(fā)出新型波分濾波器。主要面向采用波分復用裝置（WDM）的長距離通信用波長監(jiān)視設備等。設備尺寸將會大大小于使用棱鏡和AWG等裝置的老式濾波器。 此次開發(fā)的濾波器可在1520nm～1600nm的光波長之間，對需要濾波的中心波長進行控制。濾波器的工作原理是：通過控制前級激光振蕩器常用的FP（Fabri Perrot）型共振器長度，對在共振器中反復反射的光波波長進行控制。只有反復反射后得到放大的光才能通過濾波器。共振器的長度通過在2枚共振板之間施加電壓來控制。共振器有一個反射面是很薄的硅底板，能夠像揚聲器振動板一樣運動。另一個反射面利用玻璃底板進行固定。 驅動速度高達1kHz以上。芯片尺寸為5mm見方。光必須通過反射板和硅底板，才能從共振器中通過。不過，即便包括這里的損耗，整個插入損耗也只有3dB。