7月30日，國家重點(diǎn)研發(fā)NQI專項(xiàng)“納米幾何特征參量計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器研究及應(yīng)用示范”項(xiàng)目年度會(huì)議在杭州召開。來自清華大學(xué)、西安交通大學(xué)、中國計(jì)量科學(xué)研究院、中國計(jì)量大學(xué)、中科院微電子所等20多位專家參加會(huì)議。

在該項(xiàng)目中，蘇州市計(jì)量院承擔(dān)了“納米幾何特征參量計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器在先進(jìn)制造產(chǎn)業(yè)應(yīng)用示范”課題的研究任務(wù)，同時(shí)參與了在集成電路與國防軍工產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用示范。該院相關(guān)人員向?qū)＜医榻B了一年以來課題研究工作的主要內(nèi)容、完成指標(biāo)情況、應(yīng)用示范案例、經(jīng)費(fèi)執(zhí)行情況，聽取了現(xiàn)場技術(shù)專家和財(cái)務(wù)專家的意見和現(xiàn)場指導(dǎo)，為下一步課題研究及應(yīng)用示范拓寬了思路，保證項(xiàng)目順利推進(jìn)。