NQI專項(xiàng)“納米幾何特征參量計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器研究及應(yīng)用示范”項(xiàng)目實(shí)施方案論證會暨啟動會在北京召開
發(fā)布時間：2018-09-28
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來源：山東省計(jì)量院
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9月8 日，＂十三五＂國家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃＂國家質(zhì)量基礎(chǔ)的共性技術(shù)研究與應(yīng)用＂重點(diǎn)專項(xiàng)（以下簡稱＂NQI專項(xiàng)＂）＂納米幾何特征參量計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器研究及應(yīng)用示范＂項(xiàng)目實(shí)施方案論證會暨啟動會在中國計(jì)量科學(xué)研究院和平里院區(qū)召開。來自北京航空航天大學(xué)、西安交通大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、中國科學(xué)院微電子研究所、全國標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)管理委員會、中科院自動化所等單位的專家，以及中國計(jì)量科學(xué)研究院院長方向、相關(guān)職能部門負(fù)責(zé)人和項(xiàng)目參與單位技術(shù)骨干等參加了論證會。我院承擔(dān)了項(xiàng)目中的兩項(xiàng)子課題，課題負(fù)責(zé)人曹叢參加了項(xiàng)目論證會。
西安交通大學(xué)蔣莊德院士代表項(xiàng)目組向咨詢專家組介紹了項(xiàng)目總體情況和實(shí)施方案，各課題負(fù)責(zé)人分別匯報(bào)了課題實(shí)施方案。專家組認(rèn)真聽取了匯報(bào)，一致認(rèn)為：項(xiàng)目實(shí)施方案目標(biāo)明確、研究內(nèi)容設(shè)置合理、技術(shù)路線切實(shí)可行、保障措施有力，同意通過論證。
該項(xiàng)目擬研制從16nm到2000nm的一維、二維柵格和線寬等幾何特征參量計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器，實(shí)現(xiàn)高精度定值、校準(zhǔn)和溯源，并建立從國家到地方直至產(chǎn)業(yè)的全鏈條、全覆蓋的納米幾何量值傳遞溯源體系，面向集成電路、國防軍工、先進(jìn)制造和生物醫(yī)藥等典型產(chǎn)業(yè)開展應(yīng)用示范。該標(biāo)準(zhǔn)器的研制和應(yīng)用，將從根本上解決我國納米計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器缺失，以及量傳體系與產(chǎn)業(yè)脫節(jié)的問題，并將打破國外壟斷，提升產(chǎn)品質(zhì)量和國際競爭力。
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